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      邦納傳感器半導體氣體傳感器的應用機理

      2020-08-19 11:18

             邦納傳感器氣體傳感器是將被測氣體濃度轉換為與其一定關系的電量輸出的裝置或器件。氣體傳感器是用來檢測氣體類別、濃度和成分的傳感器。由于氣體種類繁多,性質各不相同,不可能用一種傳感器檢測所有類別的氣體,按構成氣體傳感器材料可分為半導體和非半導體兩大類。其中半導體氣體傳感器是利用待測氣體與半導體表面接觸時,產生的電導率等物理性質變化來檢測氣體的。按照半導體與氣體相互作用時產生的變化只限于半導體表面或深入到半導體內部,可分為表面控制型和體控制型。前者半導體表面吸附的氣體與半導體間發生電子接受,結果使半導體的電導率等物理性質發生變化,但內部化學組成不變;后者半導體與氣體的反應,使半導體內部組成發生變化,而使電導率變化。
       
             邦納傳感器氣體傳感器按照半導體變化的物理特性,又可分為電阻型和非電阻型,電阻型半導體氣敏元件是利用敏感材料接觸氣體時,其阻值變化來檢測氣體的成分或濃度;非電阻型半導體氣敏元件是利用其它參數,如二極管伏安特性和場效應晶體管的閾值電壓變化來檢測被測氣體的。半導體氣體傳感器是利用氣體在半導體表面的氧化和還原反應導致敏感元件阻值變化而制成的。當半導體器件被加熱到穩定狀態,在氣體接觸半導體表面而吸附時,被吸附的分子首先在表面物性自由擴散,失去運動能量,一部分分子被蒸發掉,另一部分殘留分子產生熱分解而固定在吸附處(化學吸附)。
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